沈阳经开区新添半导体机器人研发生产基地

“五一”来临前，中科芯微半导体机器人研发生产基地项目在沈阳经济技术开发区启动。项目聚焦半导体专业设备领域的国产替代研发，将打造国内领先的集研发、生产、销售为一体的半导体机器人研发生产基地，加速攻克“卡脖子”，填补相关领域国产替代市场的空白，推动沈阳市铁西区(经开区、中德园)战略性新兴产业集群冲刺新高度、超车新赛道。

突破技术壁垒 填补半导体领域国内空白

4月30日，记者在项目启动活动中了解到，中科芯微智能装备(沈阳)有限公司(以下简称“中科芯微”)是由素珀电子科技(上海)有限公司(以下简称“素珀电子”)投资创立的高新技术企业，主要专注于半导体制造核心装备的自主研发与产业化。作为一家潜在独角兽企业，素珀电子于2020年6月“落子”沈阳铁西，在沈阳经开区设立研发生产基地——中科芯微，逐步构建起覆盖芯片制造前道工艺全制程的设备体系。

五年来，中科芯微年均推出5-10项创新产品，累计完成十余项重大科技攻关项目，成功开发出20余种高精度半导体洁净机器人系列产品，突破了相关技术壁垒，在精密传动系统、真空环境兼容性、纳米级定位精度等“卡脖子”领域取得重大进展。

30日启动的中科芯微半导体机器人研发生产基地项目，计划总投资5亿元，占地面积6.9万平方米，规划建筑面积约8.3万平方米，将建设数字化智能制造生产厂房、半导体核心设备实验室、研发综合楼等设施。项目竣工投产后，可实现年产半导体机器人1000台套，预计新增产值10亿元，税收5000万元，新增就业500余人。

感受营商沃土 吸引上下游企业补链强链

“项目的成功启动，让企业真切感受到‘沈阳速度’与‘振兴诚意’。”素珀电子科技(上海)有限公司董事长、中科芯微智能装备(沈阳)有限公司董事长朱玉东表示，从五年前企业落户沈阳经开区、中德园开始，就不断体会着沈阳铁西这片营商环境沃土的强力支撑。

本次项目从政策专班对接、土地要素保障等高效服务，到中德园的产业链协同配合，再到区域内沈阳工业大学、沈阳化工大学两所高校的政校企合作和人才支持，处处体现出沈阳铁西的发展“硬实力”和营商“软环境”，也让企业感受到沈阳“打造东北半导体产业新高地”的战略决心。

“希望在新的研发生产基地建成后，依托本地产业链、供应链的带动，能够吸引更多上下游企业加入，共同形成产业链聚集发展的良好态势。”朱玉东说。

作为项目的服务保障方代表，中德(沈阳)高端装备制造产业园项目(企业)服务中心主任王大力表示：“项目是区域发展的生命线，我们一直在为企业提供全链条‘保姆式’的精密对接服务。”今年，沈阳经开区、中德园还会将整体项目服务模式从“店小二”升级为“快递员”，推动服务理念、机制、效能实现系统性变革，用“快递员”式的主动作为、上门服务，催生发展质变，真正让企业在铁西无顾虑投资、无干扰建设、无障碍发展。

铸强新质引擎 新材料产业集群持续壮大

“本次项目的启动，实现了高精尖技术与铁西‘大国重器’深厚底蕴的深度融合，不仅体现了素珀电子的长远战略眼光，也标志着铁西多元布局、补齐短板的业态培育初见成效。”铁西区(经开区、中德园)相关负责人在活动致辞中表示，科技创新企业与工业大区的“强强联合”，必将为沈阳新材料产业发展提供有力支撑，为全面振兴取得新突破注入强劲动力。

今年以来，铁西区依托汉京、贺利氏等龙头企业，持续推动关键核心技术攻关，提升先进新材料产业发展能级，推动新材料产业集群高质量发展。一季度，铁西区新材料产业集群实现规上产值75.9亿元，同比增长9.7%，约占全市48.6%，排名全市第一。

“下一步，我们将以‘强攻二季度，勇夺双过半’的拼搏精神，全面加快项目建设步伐。”铁西区相关负责人表示，铁西将立足自身产业基础和发展定位，全力构建具有区域发展特色的新材料及集成电路产业体系，提质升级先进金属、化工、无机非金属材料产业链条，培育壮大超高纯净石英半导体材料产业规模，全力支持中科芯微申报潜在独角兽企业，推动传统制造业转型升级、新兴产业发展壮大，为区域经济发展蓄势赋能。