罗博特科智能取得硅片传输专利，实现对硅片的无接触有效吸附

金融界2025年4月24日消息，国家知识产权局信息显示，罗博特科智能科技股份有限公司取得一项名为“适用于硅片传输的吸盘及传输装置”的专利，授权公告号 CN222785277U，申请日期为 2024 年 7 月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种适用于硅片传输的吸盘，依次包括顶板、中板和底板，所述顶板、中板和底板形成吸附腔，所述顶板上设置有用于支撑硅片边缘(棱边)的垫板，所述顶板对应所述垫板开设有吸附口，所述吸附口贯穿所述顶板的厚度方向并连通所述吸附腔，所述吸附腔具有抽气口，所述抽气口与负压机构连通。本实用新型的吸盘，通过设置用于支撑硅片棱边的垫板，避免吸盘接触硅片的工艺面，同时结合与负压机构连通的吸附腔和抽气口，对硅片进行有效的无接触吸附。

天眼查资料显示，罗博特科智能科技股份有限公司，成立于2011年，位于苏州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本15503.8368万人民币。通过天眼查大数据分析，罗博特科智能科技股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目20次，财产线索方面有商标信息27条，专利信息492条，此外企业还拥有行政许可23个。

本文源自：金融界

作者：情报员