澳柯玛云联申请改善薄膜均匀性专利，提高器件性能

金融界 2025 年 5 月 3 日消息，国家知识产权局信息显示，青岛澳柯玛云联信息技术有限公司申请一项名为“一种改善薄膜均匀性的方法”的专利，公开号 CN119905392A，申请日期为 2023 年 10 月。

专利摘要显示，本发明提供一种改善薄膜均匀性的方法，所述方法包括：提供衬底，所述衬底内形成有多个沟槽，使得所述衬底具有沟槽部以及位于相邻所述沟槽部之间的凸起部；对所述衬底进行离子注入，以使所述凸起部的至少部分表面非晶化形成非晶层；对所述衬底以及所述非晶层进行氧化以在所述凸起部的表面形成氧化层。本发明通过非晶化在所述凸起部的表面形成氧化层，使得所述氧化层的厚度基本相同或厚度差异减小，改善了沟槽不同位置处的氧化层的厚度差异，改善了衬底不同位置处的氧化层的厚度差异，提高了氧化层厚度的均匀性，提高了器件性能。

天眼查资料显示，青岛澳柯玛云联信息技术有限公司，成立于2020年，位于青岛市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本50000万人民币。通过天眼查大数据分析，青岛澳柯玛云联信息技术有限公司共对外投资了5家企业，专利信息30条，此外企业还拥有行政许可4个。

本文源自：金融界

作者：情报员