美国禁售EUV光刻机? 即将没有意义了, 我们有2个方向突破了
光刻机,是当前芯片制造流程中,最核心最重要的一环。因为几乎所有大规模量产芯片的技术,都离不开光刻,所以就离不开光刻机。
而为了卡住中国芯片产业的脖子,美国限制ASML将先进的光刻机卖给中国,特别是EUV光刻机,连先进的浸润式DUV,也不准卖。
而光刻机,与芯片工艺是对应的,EUV光刻机对应的是7nm以下的芯片制造,而浸润式光刻机,先进的型号,可以制造7nm芯片。
所以美国的目的很直接,那就是锁住我们,不能往7nm以下工艺进发,因为这样那么先进的芯片我们制造不出来,就得找美国买,美国就卡住我们了,可以获得经济上的,政治上的利益。
但是经过这么多年的努力,很明显,美国限制ASML的光刻机销售,即将没有意义了,因为我们已经有2个方向,有突破了,未来不需要EUV,我们也一样能够制造出5nm芯片出来。
第一个方向,是NIL纳米压印,佳能之前就制造出来了能制造5nm芯片的纳米压印机,可以替代EUV光刻机的。
而国内璞璘科技,也制造出了首台PL-SR系列喷墨步进式纳米压印设备,线宽<10nm,可以用于芯片、封测等领域,同样可以制造5nm及以来的芯片。
第二个方向是EBL电子束技术,浙江大学成果转化基地,推出了首台国产商业化电子束光刻机 “羲之”,其精度达 0.6nm、线宽 8nm,无需掩膜版,也能够直接制造5nm及以下的芯片。
这两个方向,都是可以替代EUV光刻机的方向,有了这样的设备,不需要EUV一样能制造先进芯片。
目前这两种设备,都不是PPT,是已经研发出来了,交付给客户在进行测试,以及与相关其它设备的联调,最终建设整个生产线。
当然,缺点也不是没有,因为芯片制造是一整套的,光刻机只是其中一环,还需要其它设备配合,国内的这两种设备,目前还缺这一整套芯片制造生态,需要一点时间。
另外就是这两种设备,功率效率上还比不过EUV光刻机,但相信迭代几次后,就能够一定程度上替代EUV了,就像EUV第一代,也不行一样。
所以说,真的要不了多久,美国不允许ASML将EUV卖给我们,也没有意义,我们可以绕道超定,用另外的方向,制造出自己的先进芯片,到时候所谓的芯片禁令就成废纸,芯片战争彻底结束。