芯恩申请晶圆受力检测相关专利，能检测晶圆受力避免其损坏

金融界2025年5月7日消息，国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司申请一项名为“一种晶圆受力检测装置及半导体设备”的专利，公开号 CN119915421A，申请日期为2025年1月。

专利摘要显示，本发明公开了一种晶圆受力检测装置及半导体设备，包括静电吸盘，用于放置晶圆片；升降销，沿工作方向滑动设置于所述静电吸盘，升降销具有顶升端，顶升端用于带动晶圆片运动；检测组件，包括静止件和移动件，静止件设置于升降销，移动件活动设置于升降销，移动件与静止件之间具有一定间隙；其中，升降销运动带动静止件和移动件运动，使晶圆片远离静电吸盘，在运动过程中，晶圆片对移动件产生压力，使移动件沿工作方向朝向静止件运动，通过移动件与静止件之间的距离变化，以检测所述晶圆片的受力。本发明能检测晶圆片的受力是否过度，从而避免晶圆片因为解吸附困难而偏移，并进而因受力过度导致损坏的情况发生。

天眼查资料显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目167次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息645条，此外企业还拥有行政许可55个。

本文源自：金融界

作者：情报员