细美事申请用于处理基板的装置及方法专利，提升基板处理效果

金融界2025年5月1日消息，国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“用于处理基板的装置及用于处理基板的方法”的专利，公开号CN119890076A，申请日期为2024年10月。

专利摘要显示，公开用于处理基板的装置及方法。装置包括：旋转卡盘；喷嘴单元；和控制喷嘴单元的控制器，该喷嘴单元包括：头部；设在头部上并排放清洁溶液的清洁喷嘴；设在头部上并排放干燥气体的干燥喷嘴；以及将头部从第一位置移动到第二位置的驱动器；在头部处于第二位置时，从多个清洁喷嘴排放到基板的清洁溶液的撞击点位于、比当头部处于第一位置时清洁溶液的撞击点距基板的中心更远的位置处；从多个清洁喷嘴同时排放清洁溶液，清洁溶液的撞击点位于距基板的中心不同的距离处；当从多个干燥喷嘴同时排放干燥气体时，干燥气体的撞击点位于距基板的中心不同的距离处；当同时排放清洁溶液和干燥气体时，清洁溶液的撞击点比干燥气体的撞击点距基板的中心更远。

本文源自：金融界

作者：情报员