费勉仪器科技（上海）取得射频等离子装置及真空系统专利，有效提升装置和系统的性能

金融界 2025 年 5 月 10 日消息，国家知识产权局信息显示，费勉仪器科技（上海）有限公司取得一项名为“射频等离子装置及真空系统”的专利，授权公告号 CN222839866U，申请日期为 2024 年 6 月。

专利摘要显示，本公开提供了一种射频等离子装置及真空系统，射频等离子装置包括：电磁场发生器，用于在通电后产生电磁场；以及等离子发生腔，与电磁场发生器耦合，用于容纳工作气体以及工作气体在电磁场作用下产生的等离子。

天眼查资料显示，费勉仪器科技（上海）有限公司，成立于2014年，位于上海市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本1162.6667万人民币。通过天眼查大数据分析，费勉仪器科技（上海）有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目308次，财产线索方面有商标信息17条，专利信息224条，此外企业还拥有行政许可18个。

本文源自：金融界

作者：情报员