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浙江珏芯微电子申请半导体晶圆切割方法专利,明显改善了划片崩边及裂纹的问题

金融界2025年4月25日消息,国家知识产权局信息显示,浙江珏芯微电子有限公司申请一项名为“一种半导体晶圆的切割方法”的专利,公开号CN119795401A,申请日期为2025年3月。

专利摘要显示,本发明公开了一种半导体晶圆的切割方法,包括步骤:提供晶圆,所述晶圆包含多个碲镉汞芯片;使用第一划片刀,对所述多个碲镉汞芯片之间的间隙进行第一次划切,形成第一线槽;使用第二划片刀沿所述第一线槽进行第二次划切,形成第二线槽,所述第二线槽的宽度小于第一线槽宽度,第二线槽深度与第一线槽深度之和小于晶圆厚度;对所述第二线槽处的晶圆进行湿法刻蚀,使得所述多个碲镉汞芯片一一分离。本发明提供的半导体晶圆的切割方法,通过多次划切后湿法刻蚀断开,明显改善了划片崩边及裂纹的问题,大大提升了红外探测芯片的性能。

天眼查资料显示,浙江珏芯微电子有限公司,成立于2019年,位于丽水市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本35131.764706万人民币。通过天眼查大数据分析,浙江珏芯微电子有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目8次,财产线索方面有商标信息7条,专利信息200条,此外企业还拥有行政许可11个。

本文源自:金融界

作者:情报员